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          放電清洗：

          放電清洗一般用于高真空、真空腔體清洗中。.放電清洗的作用取決于電機(jī)材料、真空腔體幾何形狀及其與表面的關(guān)系。利用電子轟擊氣體造成解吸以及某些碳?xì)浠衔锏娜サ簟?/div>